光电生产用特气管道系统工程

岁月

　　特气系统基本由以下几个部件构成 基本构成：

　　特气 Special Material Gas
　　供气设备 Gas Supply Equipment
　　分配箱 Valve Manifold Box
　　纯化设备 Gas Purifier
　　废气处理设备 Scrubber
　　检测器 Gas Detectet
　　监视设备 Gas Monitoring System

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